[发明专利]谐振器组、滤波器、电子设备及谐振器制作方法在审
| 申请号： | 202111033255.4 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN115765673A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 郝龙;庞慰;马晓丹;徐洋 | 申请（专利权）人： | 诺思(天津)微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/56;H03H9/58;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨泽;臧建明 |
| 地址： | 300457 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种谐振器组、滤波器、电子设备及谐振器制作方法。谐振器制作方法包括：提供衬底；在衬底上形成由层叠设置的声学镜、底电极、压电层、顶电极和导电层构成的层叠结构，其中，导电层覆盖顶电极的部分区域；在层叠结构上通过一次图形化形成引线开口结构，引线开口结构包括至少延伸至导电层的第一开口和延伸至底电极的第二开口；形成容设在第一开口内的顶电极引线和容设在底电极开口内的底电极引线。本发明能够降低谐振器的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 滤波器 电子设备 制作方法 | ||
【主权项】：
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