[发明专利]一种碳化硅材料抛光方法在审
申请号: | 202110968145.0 | 申请日: | 2021-08-23 |
公开(公告)号: | CN113695989A | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 董兴玉;刘民 | 申请(专利权)人: | 常州容导精密装备有限公司 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00;B24B31/00;B24B31/10;B24B31/12;B24B31/14;C09G1/02 |
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地址: | 213363 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种碳化硅材料抛光方法,包括如下步骤:S1、将800目、1200目及1500目碳化硅微粉分别与非水溶剂混合液搅拌均匀,得到不同规格的碳化硅抛光浆;S2、在需要抛光的碳化硅部件内部填充800目碳化硅粉制成的碳化硅微粒浆,通过搅拌器将内部的碳化硅浆进行高速旋转研磨进行粗抛,将表面杂质及附着物打磨平整;S3、将1200目碳化硅粉制成的碳化硅浆倒入抛光部件内部,高速旋转研磨,进行中抛;S4、将1500目碳化硅粉制成的碳化硅浆倒入抛光部件内部,高速旋转研磨,进行精抛;S5、用金刚石粉对以上抛光后的瑕疵进行维修。本发明抛光方法可以降低超精细化工部件表面粗糙度、提高抛光表面光洁度。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 材料 抛光 方法 | ||
【主权项】:
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