[发明专利]双向高压瞬态电压抑制器的结构及其制作方法在审
| 申请号： | 202110964546.9 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113421930A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 朱伟东;赵泊然;陈德朋 | 申请（专利权）人： | 江苏应能微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L21/329 |
| 代理公司： | 无锡市兴为专利代理事务所(特殊普通合伙) 32517 | 代理人： | 屠志力 |
| 地址： | 213002 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双向高压瞬态电压抑制器的结构，包括：重掺杂第一导电类型衬底，在重掺杂第一导电类型衬底上生长有一层第二导电类型外延层，与重掺杂第一导电类型衬底形成PN结；在一层第二导电类型外延层顶部形成有第二导电类型中间埋层；在第二导电类型中间埋层上生长有另一层第二导电类型外延层；在另一层第二导电类型外延层顶部形成有重掺杂第一导电类型区，与另一层第二导电类型外延层形成PN结；在重掺杂第一导电类型区上设有介质层；介质层上形成有接触孔，金属层填充接触孔并与重掺杂第一导电类型区接触；介质层和金属层表面覆盖有钝化层；在钝化层中形成用于连接金属层的空腔。本发明可以一颗芯片实现双向高压特性。 | ||
| 搜索关键词： | 双向 高压 瞬态 电压 抑制器 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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