[发明专利]靶材组件及其制作方法在审
| 申请号： | 202110962008.6 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113529030A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 山田浩;林智行;广田二郎;中村晃;大岩一彦;姚科科 | 申请（专利权）人： | 浙江最成半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K20/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;张萍 |
| 地址： | 312035 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种靶材组件及其制作方法，该靶材组件包括：靶材和背板，背板设置于靶材的外围，靶材的溅射面相对于背板的前端表面凸出。本发明中的靶材组件及其制作方法，通过将背板设置于靶材的外围，由于背板没有在靶材的背面进行占位，溅射范围的厚度全部由靶材构成，所以间接使得靶材自身可以设置更厚的厚度，延长了靶材自身的使用寿命，因此与以往产品相比，能够将综合功率延长至寿命末期，实现靶材组件的长寿命化。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江最成半导体科技有限公司，未经浙江最成半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110962008.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种简便的用于钢筋短程运输装置及使用方法
- 下一篇：项目处理方法以及装置
- 同类专利
- 专利分类
