[发明专利]微电子组件中的直接接合在审
申请号: | 202110948262.0 | 申请日: | 2021-08-18 |
公开(公告)号: | CN114203684A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | A·A·埃尔舍尔比尼;K·巴拉特;邓汉威;K·君;A·阿列克索夫;M·E·卡比尔;S·M·利夫;J·M·斯万;F·埃德 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/482 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 陈晓;陈岚 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本文公开了包括直接接合的微电子组件,以及相关的结构和技术。例如,在一些实施例中,微电子组件可以包括第一微电子部件和通过直接接合区耦合到第一微电子部件的第二微电子部件,其中直接接合区包括第一子区和第二子区,以及第一子区,并且第一子区具有比第二子区更大的金属密度。在一些实施例中,微电子组件可以包括第一微电子部件和通过直接接合区耦合到第一微电子部件的第二微电子部件,其中直接接合区包括第一金属接触和第二金属接触,第一金属接触具有比第二金属接触更大的面积,并且第一金属接触电耦合到第一微电子部件的电源/接地平面。 | ||
搜索关键词: | 微电子 组件 中的 直接 接合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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