[发明专利]减小在样品与电子束工具的吸盘之间的温差在审
| 申请号： | 202110943067.9 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN114078676A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | G·G·布朗特文;A·阿布迪 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于减小在样品与电子束工具的吸盘之间的温差的方法、非暂态计算机可读介质和系统。所述方法可以包括：确定位于电子束工具的装载端口处的样品的目标温度；将位于装载端口处的样品的温度设定为目标温度；将样品从装载端口移动到吸盘，所述吸盘位于真空腔室内，样品属于多个样品；以及将样品定位在吸盘上，其中当样品被定位在吸盘上时，样品的温度实质上等于吸盘的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 减小 样品 电子束 工具 吸盘 之间 温差 | ||
【主权项】：
暂无信息
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