[发明专利]减小在样品与电子束工具的吸盘之间的温差

说明书

一种用于减小在样品与电子束工具的吸盘之间的温差的方法、非暂态计算机可读介质和系统。所述方法可以包括：确定位于电子束工具的装载端口处的样品的目标温度；将位于装载端口处的样品的温度设定为目标温度；将样品从装载端口移动到吸盘，所述吸盘位于真空腔室内，样品属于多个样品；以及将样品定位在吸盘上，其中当样品被定位在吸盘上时，样品的温度实质上等于吸盘的温度。

交叉引用

本申请要求在2020年8月17日申请的美国申请第16/995,058号的优先权。该申请的公开内容通过引用以其全部并入本文中用于所有目的。

背景技术

扫描电子显微镜是用于评估诸如半导体晶片之类的样品的高分辨率工具。

存在不同类型的扫描电子显微镜，包括用于检查可疑的缺陷的检查扫描电子显微镜，以及用于测量样品的微观结构的临界尺寸的临界尺寸扫描电子显微镜。

在每个扫描电子显微镜中，将样品定位在扫描电子显微镜的真空腔室内的同时对样品进行评估。

样品由吸盘支撑。吸盘由机械台移动。机械台包括引擎以及可在移动期间加热的其他部件，从而加热吸盘。

扫描电子显微镜应表现出纳米级分辨率。通过用具有极小横截面的电子束扫描样品区域来获得此纳米级分辨率。可以扫描样品的多个区域，通常是一个区域接另一个区域地扫描。

样品的区域预期包括感兴趣的纳米级特征。例如，感兴趣的纳米级特征可能遭受可疑缺陷。另外地或替代地，感兴趣的纳米级特征可以是应被测量的特征。

在扫描区域之前，机械台可以移动样品，使得区域位于电子束的视野内。

电子束的定位应该非常精确以便扫描感兴趣的纳米级特征。

归因于吸盘的加热，在吸盘与样品之间可能存在显著温差，使得当样品定位在吸盘上时，样品可能略微变形。

样品的变形可能引入不可容忍的位置误差。

越来越需要有效地减小吸盘与样品之间的显著温差。

发明内容

可以提供用于减小吸盘与样品之间的温差的方法、非暂态计算机可读介质和检测系统。

附图说明

在本说明书的结束部分尤其指出和清楚地要求保护被视为本公开内容的实施例的主题。然而，当结合附图解读时，通过参考下列详细说明，可以最佳地理解本公开内容的关于组织和操作方法的实施例以及对象、特征和其优点，其中：

图1示出了方法的示例；

图2示出了电子束系统的示例；以及

图3示出了电子束系统的示例。

具体实施方式

在以下详细说明中，阐明许多特定细节以便提供对本公开内容的实施例的透彻理解。

然而，本领域技术人员应理解，可以在不存在这些特定细节的情况下实践本公开内容的本实施例。在其他情况下，并未详述所熟知的方法、程序和部件以免模糊本公开内容的本实施例。

在本说明书的结束部分尤其指出和清楚地要求保护被视为本公开内容的实施例的主题。然而，当结合附图解读时，通过参考下列详细说明，可以最佳地理解本公开内容的关于组织和操作方法的实施例以及对象、特征和其优点。

应了解，出于说明的简单和清晰的目的，附图中所示的元件未必按比例绘制。例如，为了清晰，一些元件的尺寸可能相对于其他元件被放大。此外，在认为适当时，附图标记可以在附图之间重复以指示对应或相似的元件。