[发明专利]一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法，包括调整机构和静电机构，承接内筒外圈的静电机构环绕传动机构进行螺旋旋转，利用外接触件与拨动排列轴进行接触，二者之间摩擦产生静电，因外接触件的环形阵列开设，使其成为一个类圆状，从而产生的静电形成一类圆状电场，产生的类圆形静电场直径大于刻蚀衬底的直径，使其能够对刻蚀衬底上的二极管进行限位，产生的静电场通过外伸横杆对其进行吸引，使产生的静电场的边缘高度提升，使整体静电场成为类倒漏斗状，对湿法刻蚀时的化学反应生成的物质进行吸附，且能够对密闭器皿中的杂质进行阻隔，使刻蚀衬底上的二极管接触杂质减少。