[发明专利]蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置在审
| 申请号： | 202110923151.4 | 申请日： | 2021-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN113621919A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 周国山;蔡渊;迮建军 | 申请（专利权）人： | 东部超导科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/14 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;顾天乐 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，属于超导材料加工设备技术领域。该蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置包括真空腔室，真空腔室中固定有阻热坩埚支架，阻热坩埚支架上设有蒸发镀银用钨坩埚；对应蒸发镀银用钨坩埚，设有螺旋加热铜管；螺旋加热铜管用于对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频加热。本发明能够实现蒸发镀银用钨坩埚的感应加热，避免采用高能加热方式加热造成蒸发镀银设备出现频繁高压报警停机的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀银 坩埚 高频 加热 装置 | ||
【主权项】：
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