[发明专利]蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置

说明书

一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，属于超导材料加工设备技术领域。该蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置包括真空腔室，真空腔室中固定有阻热坩埚支架，阻热坩埚支架上设有蒸发镀银用钨坩埚；对应蒸发镀银用钨坩埚，设有螺旋加热铜管；螺旋加热铜管用于对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频加热。本发明能够实现蒸发镀银用钨坩埚的感应加热，避免采用高能加热方式加热造成蒸发镀银设备出现频繁高压报警停机的问题。

技术领域

本发明涉及的是一种超导材料加工设备领域的技术，具体是一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置。

背景技术

在超导薄膜生产中，蒸发镀银工序作为重要一环，对带材的保护及带材性能具有非常重要的影响。目前蒸发镀银设备采用电子枪高能加热方式加热，具有加热速度快的优势，但所需电压要求较高，一般在8kV左右，能耗大；另外在真空腔室清理不慎或通电灯丝固定连接不良的情况下，落入坩埚室内的银作为一种导电性良好的介质，高能加热时变成银蒸汽，银蒸汽导电会造成设备频繁高电压报警，导致设备随之停机，不能连续生产。

为了解决现有技术存在的上述问题，本发明由此而来。

发明内容

本发明针对现有技术存在的上述不足，提出了一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，能够实现蒸发镀银用钨坩埚的感应加热，降低能耗，避免因采用高能加热方式镀银造成设备频繁高电压报警停机。

本发明包括真空腔室，真空腔室中固定有阻热坩埚支架，阻热坩埚支架上设有蒸发镀银用钨坩埚；

对应蒸发镀银用钨坩埚，设有螺旋加热铜管；螺旋加热铜管用于对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频加热。

优选地，阻热坩埚支架包括底部支座、连接板和顶部支座，底部支座与真空腔室固定连接，连接板连接底部支座和顶部支座，顶部支座用于放置蒸发镀银用钨坩埚。

进一步优选地，连接板上规律地设置有若干阻热孔洞，通过阻热孔洞形成温度梯度，降低热量损失。

优选地，螺旋加热铜管采用薄壁结构，并设有冷却介质流道，用于及时冷却螺旋加热铜管。

技术效果

与现有技术相比，本发明具有如下技术效果：

1)螺旋加热铜管可以对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频感应加热，无接触电阻；高频感应加热方式下，无接触导电风险，解决了接触式导电造成高电压报警停机的问题；

2)高频感应加热，功率可控，所需电压在20V左右，能耗低；

3)螺旋加热铜管中可以通入冷却介质及时冷却，确保铜管不受热辐射损坏。

附图说明

图1为实施例1的结构示意图；

图2为实施例1中阻热坩埚支架的结构示意图；

图3为实施例1中蒸发镀银用钨坩埚的结构示意图；

图中：真空腔室1，阻热坩埚支架2，底部支座21、连接板22，阻热孔洞221，顶部支座23，钨坩埚3，螺旋加热铜管4。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施方式对本发明进行详细描述。实施例中未注明具体条件的实验方法，按照常规方法和条件进行。

实施例1

如图1和图2所示，本实施例包括真空腔室1，真空腔室1中固定有阻热坩埚支架2，阻热坩埚支架2上设有蒸发镀银用钨坩埚3；绕蒸发镀银用钨坩埚3，设有螺旋加热铜管4。