[发明专利]半导体设备生产报表的关联方法和关联系统在审

专利信息
申请号: 202110920449.X 申请日: 2021-08-11
公开(公告)号: CN115705372A 公开(公告)日: 2023-02-17
发明(设计)人: 王剑平;蒋治纬;王晓;李忠雄;王柏皓;孙克武;余露;操津津 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G06F16/9038 分类号: G06F16/9038;G06F40/177;G06Q50/04
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 姚姝娅
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本申请实施例涉及一种半导体设备生产报表的关联方法及关联系统。该关联方法包括:提供第一生产报表,第一生产报表包括产品批次信息、产品进入加工站点的第一时间及产品离开加工站点的第二时间;提供第二生产报表,第二生产报表包括所述产品批次信息、产品在加工站点中开始加工工艺的第三时间及产品在加工站点中结束全部加工工艺的第四时间;当第一时间早于或等于第三时间,且第二时间晚于或等于第四时间时,判定第一生产报表和第二生产报表相关联。在不使用作业识别码的情况下,可以准确找出各生产报表之间的关系,然后提取出预设报表相关的各生产报表中的对应数据,消除作业识别码缺失对获取预设报表对应的各生产报表的影响。
搜索关键词: 半导体设备 生产 报表 关联 方法 系统
【主权项】:
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