[发明专利]半导体设备生产报表的关联方法和关联系统

说明书

本申请实施例涉及一种半导体设备生产报表的关联方法及关联系统。该关联方法包括：提供第一生产报表，第一生产报表包括产品批次信息、产品进入加工站点的第一时间及产品离开加工站点的第二时间；提供第二生产报表，第二生产报表包括所述产品批次信息、产品在加工站点中开始加工工艺的第三时间及产品在加工站点中结束全部加工工艺的第四时间；当第一时间早于或等于第三时间，且第二时间晚于或等于第四时间时，判定第一生产报表和第二生产报表相关联。在不使用作业识别码的情况下，可以准确找出各生产报表之间的关系，然后提取出预设报表相关的各生产报表中的对应数据，消除作业识别码缺失对获取预设报表对应的各生产报表的影响。

技术领域

本申请实施例涉及半导体技术领域，特别是涉及一种半导体设备生产报表的关联方法和关联系统。

背景技术

半导体设备自动化数据收集过程中，对一个批次(lot)的产品在一次进入设备后产生的全部事件，给一个流水码，作为数据是一组的标记，叫作业识别码(CJ，Control JobID)。当需要一个批次的晶圆在进入设备A进行工艺制备后的报表Z时，可以通过作业识别码CJ获取与报表Z相关的生产报表X和生产报表Y，然后将生产报表X和生产报表Y中的信息提取合并后，得到报表Z需要的信息。但是，连接生产报表X和生产报表Y的作业识别码CJ是在EAP系统的全自动生产模式下产生的，半自动生产模式和离线生产模式不会产生作业识别码CJ。当设备A全自动生产模式的比率不高时，包含作业识别码CJ的数据非常有限甚至没有，而半导体生产模式是离散的，同一批次的产品可以多次进入相同的设备进行工艺制备，因此，仅利用批次信息(lot INfo)和设备编号(Eqp ID)不同准确获取报表Z对应的生产报表X和生产报表Y，进而得到报表Z需要的信息，如何在作业识别码CJ缺失的情况下获取报表Z对应的生产报表X和生产报表Y，进而得到报表Z需要的信息成为亟需解决的问题。

发明内容

本申请实施例提供了一种半导体设备生产报表的关联方法和关联系统，可以优化作业识别码CJ缺失对获取报表Z对应的生产报表X和生产报表的影响，达到在作业识别码CJ缺失的情况下准确获取报表Z对应的生产报表X和生产报表的目的。

本申请提供一种半导体设备生产报表的关联方法，包括：

提供第一生产报表，所述第一生产报表包括产品批次信息、产品进入加工站点的第一时间及产品离开加工站点的第二时间；

提供第二生产报表，所述第二生产报表包括所述产品批次信息、产品在加工站点中开始加工工艺的第三时间及产品在加工站点中结束全部加工工艺的第四时间；

当所述第一时间早于或等于所述第三时间，且所述第二时间晚于或等于所述第四时间时，判定所述第一生产报表和所述第二生产报表相关联。

在其中一个实施例中，所述加工站点至少包括刻蚀设备、光刻设备、清洗设备、沉积设备、测试设备或炉管设备中的一种。

在其中一个实施例中，所述第一生产报表和所述第二生产报表包括相同的设备信息；

其中，所述设备信息与所述加工站点中的半导体设备一一对应。

在其中一个实施例中，所述第一生产报表包括批次历史报表。

在其中一个实施例中，所述批次历史报表包括产品流程信息。

在其中一个实施例中，所述第二生产报表包括节奏时间报表。

在其中一个实施例中，半导体设备生产报表的关联方法还包括：

当所述第一时间晚于所述第三时间，或所述第二时间早于所述第四时间时，判定所述第一生产报表和所述第二生产报表不关联。

本申请还提供一种半导体设备生产报表的关联系统，包括：