[发明专利]具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器

摘要

本公开涉及具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器。一种惯性传感器包含可移动质量、扭力元件，以及与基板的表面隔开悬挂所述可移动质量的悬挂系统。所述扭力元件联接到所述可移动质量，用于响应于在垂直于所述基板的所述表面的方向上施加于所述可移动质量上的力而实现所述可移动质量围绕旋转轴线的运动。所述悬挂系统包含：第一锚定件和第二锚定件，其附接到所述基板且移位远离所述旋转轴线；梁，其经由所述扭力元件连接到所述可移动质量；第一折叠弹簧，其联接在所述第一锚定件与所述梁的第一梁末端之间；以及第二折叠弹簧，其联接在所述第二锚定件与所述梁的第二梁末端之间。