[发明专利]具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器

权利要求书

1.一种惯性传感器，其特征在于，包括：

可移动质量，其与基板的表面间隔开；

扭力元件，其联接到所述可移动质量，且被配置成响应于在垂直于所述基板的所述表面的方向上施加于所述可移动质量上的力而实现所述可移动质量围绕旋转轴线的运动；以及

悬挂系统，其被配置成与所述基板的所述表面隔开悬挂所述可移动质量，所述悬挂系统包括：

第一锚定件，其附接到所述基板；

第一折叠弹簧，其具有第一弹簧末端和第二弹簧末端，所述第一弹簧末端联接到所述第一锚定件；

第二锚定件，其附接到所述基板，所述第一锚定件和第二锚定件中的每一个移位远离所述旋转轴线；

第二折叠弹簧，其具有第三弹簧末端和第四弹簧末端，所述第三弹簧末端联接到所述第二锚定件；以及

梁，其经由所述扭力元件连接到所述可移动质量，所述梁具有第一梁末端和第二梁末端，所述第一梁末端联接到所述第一折叠弹簧的所述第二弹簧末端，且所述第二梁末端联接到所述第二折叠弹簧的所述第四弹簧末端。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述扭力元件具有附接到所述可移动质量的第一末端以及在所述第一梁末端和第二梁末端之间的所述梁的中点处附接到所述梁的第二末端。

3.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，还包括定位于所述旋转轴线处且与所述旋转轴线对准的联接器，所述第一梁末端和第二梁末端之间的所述梁的中点连接到所述联接器，且所述扭力元件具有附接到所述可移动质量的第一末端和附接到所述联接器的第二末端。

4.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述梁的纵向尺寸在所述旋转轴线的相对侧上延伸，所述纵向尺寸垂直于所述旋转轴线定向。

5.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于：

所述第一锚定件和第二锚定件定位于所述旋转轴线的相对侧；

所述第一锚定件远离所述旋转轴线移位第一距离；且

所述第二锚定件远离所述旋转轴线移位基本上等于所述第一距离的第二距离。

6.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述梁相对于所述第一折叠弹簧和第二折叠弹簧是不兼容的。

7.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述梁具有与所述梁的纵向尺寸对准的细长开口，所述细长开口在所述第一梁末端和第二梁末端之间位于中心。

8.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一折叠弹簧和第二折叠弹簧中的每一个具有至少两个跨段，所述至少两个跨段的延伸方向平行于所述旋转轴线。

9.一种惯性传感器，其特征在于，包括：

可移动质量，其与基板的表面间隔开；

扭力元件，其具有第一末端和第二末端，所述第一末端联接到所述可移动质量，所述扭力元件被配置成响应于在垂直于所述基板的所述表面的方向上施加于所述可移动质量上的力而实现所述可移动质量围绕旋转轴线的运动；以及

悬挂系统，其被配置成与所述基板的所述表面隔开悬挂所述可移动质量，所述悬挂系统包括：

第一锚定件，其附接到所述基板；

第一折叠弹簧，其具有第一弹簧末端和第二弹簧末端，所述第一弹簧末端联接到所述第一锚定件；

第二锚定件，其附接到所述基板，所述第一锚定件和第二锚定件中的每一个移位远离所述旋转轴线；

第二折叠弹簧，其具有第三弹簧末端和第四弹簧末端，所述第三弹簧末端联接到所述第二锚定件；以及

梁，其经由所述扭力元件连接到所述可移动质量，所述梁具有第一梁末端和第二梁末端，所述第一梁末端联接到所述第一折叠弹簧的所述第二弹簧末端，所述第二梁末端联接到所述第二折叠弹簧的所述第四弹簧末端，所述扭力元件的所述第二末端在所述第一梁末端和第二梁末端之间的所述梁的中点处附接到所述梁，且所述梁的纵向尺寸在所述旋转轴线的相对侧上延伸，所述纵向尺寸垂直于所述旋转轴线定向。

10.一种惯性传感器，其特征在于，包括：

可移动质量，其与基板的表面间隔开；

第一扭力元件和第二扭力元件，其联接到所述可移动质量且被配置成响应于在垂直于所述基板的所述表面的方向上施加于所述可移动质量上的力而实现所述可移动质量围绕旋转轴线的运动；以及

悬挂系统，其被配置成与所述基板的所述表面隔开悬挂所述可移动质量，所述悬挂系统包括：

第一锚定件、第二锚定件、第三锚定件和第四锚定件，其附接到所述基板，所述第一锚定件、第二锚定件、第三锚定件和第四锚定件中的每一个移位远离所述旋转轴线；

第一折叠弹簧，其具有第一弹簧末端和第二弹簧末端，所述第一弹簧末端联接到所述第一锚定件；

第二折叠弹簧，其具有第三弹簧末端和第四弹簧末端，所述第三弹簧末端联接到所述第二锚定件；

第三折叠弹簧，其具有第五弹簧末端和第六弹簧末端，所述第五弹簧末端联接到所述第三锚定件；

第四折叠弹簧，其具有第七弹簧末端和第八弹簧末端，所述第七弹簧末端联接到所述第四锚定件；

第一梁，其经由所述第一扭力元件连接到所述可移动质量，所述第一梁具有第一梁末端和第二梁末端，所述第一梁末端联接到所述第一折叠弹簧的所述第二弹簧末端，所述第二梁末端联接到所述第二折叠弹簧的所述第四弹簧末端；以及

第二梁，其经由所述第二扭力元件连接到所述可移动质量，所述第二梁具有第三梁末端和第四梁末端，所述第三梁末端联接到所述第三折叠弹簧的所述第六弹簧末端，且所述第四梁末端联接到所述第四折叠弹簧的所述第八弹簧末端，其中所述第一梁和第二梁中的每一个的纵向尺寸垂直于所述旋转轴线定向。