[发明专利]基于布拉格反射镜的波导型Ge/Si雪崩光电二极管及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于布拉格反射镜的波导型Ge/Si雪崩光电二极管及制备方法，该雪崩光电二极管包括阳极、Ge电极接触层、吸收层、电荷层、倍增层、阴极、衬底层、保护层、多周期布拉格反射镜和光波导，其中，倍增层、电荷层、吸收层、Ge电极接触层及阳极自下而上依次设置在衬底层上，阴极设置在衬底层上且位于倍增层的侧面；多周期布拉格反射镜和光波导分别位于倍增层、电荷层和吸收层形成的叠层结构的相对两侧；多周期布拉格反射镜覆盖在多周期布拉格反射镜、光波导、阴极的上表面。该雪崩光电二极管利用布拉格反射镜的强反射作用，提高光的耦合效率，增强了器件的光吸收，提高了器件的响应度。