[发明专利]一种近眼微显示器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110896982.7 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113629014A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 吕迅;刘胜芳;刘晓佳;陆瑞;王澳;颜强盖 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/84 | 分类号： | H01L21/84;H01L27/12;H01L27/32 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用于近眼微显示器技术领域的近眼微显示器，本发明还涉及一种近眼微显示器制备方法，所述的近眼微显示器制备方法的制备步骤为：在硅片(1)上制备驱动电路(2)；介质层(3)沉积，介质层(3)选用氧化硅或氮化硅或氮氧化硅；介质层(3)离子束刻蚀制备曲面，通过改变离子束扫描方向、速度、气体配比、流量、功率，刻蚀出凹面层(4)或凸面层(5)，本发明的凹面近眼显示器及近眼微显示器制备方法，通过开发凹面或凸面的曲面显示器，把平面像素变成曲面像素，曲面像素与近眼显示光学方案搭配，弥补光学传输和放大导致的图像边缘像素与中间像素不一致导致的图像扭曲问题，提升近眼微显示器性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 近眼微 显示器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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