[发明专利]一种光刻胶单体及其制备方法以及一种光刻胶在审
| 申请号： | 202110896543.6 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113582846A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 韩旭 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C07C69/60 | 分类号： | C07C69/60;C07C67/26;G03F7/027 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 尹婷婷 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶单体及其制备方法以及一种光刻胶，光刻胶单体的原料来源于植物基亚麻油酸，可大幅降低对石油化工原料的依赖，具有环境友好型的特点，通过在亚麻油酸的结构中引入支链结构得到，具有高的不饱和度，加快了曝光后烘烤的效率，可大幅度降低光刻胶的PEB时间，含有本发明所述的光刻胶单体的光刻胶经涂布、曝光、显影后的膜层也更为致密。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 单体 及其 制备 方法 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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