[发明专利]一种光刻胶单体及其制备方法以及一种光刻胶

权利要求书

1.一种光刻胶单体，其特征在于，所述光刻胶单体的结构式为：

2.如权利要求1所述的光刻胶单体的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

(1)将亚麻油酸逐滴加入到热的烯丙基缩水甘油醚中，在催化剂催化条件下，在惰性气体保护下，加热反应，得到预聚物A；

(2)将步骤(1)得到的预聚物A加入到马来酸酐中，加热反应，得到预聚物B；

(3)将预聚物B逐滴加入到热的烯丙基缩水甘油醚中，在催化剂催化条件下，在惰性气体保护下，加热反应，得到光刻胶单体。

3.根据权利要求2所述的光刻胶单体的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述亚麻油酸、烯丙基缩水甘油醚的摩尔比为1:1-1.1；所述催化剂的用量为亚麻油酸、烯丙基缩水甘油醚重量之和的1-1.5％。

4.根据权利要求2所述的光刻胶单体的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述预聚物A、马来酸酐的摩尔比为1:1-1.1。

5.根据权利要求2或5所述的光刻胶单体的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述加热反应的条件为60-80℃反应2h。

6.根据权利要求2所述的光刻胶单体的制备方法，其特征在于，步骤(1)和步骤(3)中，所述热的烯丙基缩水甘油醚温度为100-120℃；所述催化剂为乙酰丙酮铁；所述惰性气体为氮气。

7.根据权利要求2或6所述的光刻胶单体的制备方法，其特征在于，步骤(1)和步骤(3)中，所述加热反应的条件均为140-160℃反应2-3h。

8.根据权利要求2或7所述的光刻胶单体的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述预聚物B、烯丙基缩水甘油醚的摩尔比为1:1～1.1；所述催化剂的用量为亚麻油酸、烯丙基缩水甘油醚重量之和的1-1.5％。

9.一种光刻胶，其特征在于，所述光刻胶中含有权利要求1所述的光刻胶单体。

10.根据权利要求9所述的光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包括以下重量百分比的原料：权利要求1所述的光刻胶单体5-15％、苯二酰亚氨基三氟甲磺酸酯0.5-1.5％、三苯基硫鎓三氟甲磺酸盐1-5％、丙二醇单甲醚乙酸酯80-92％。