[发明专利]一种N型选择性发射极太阳能电池及其制备方法

摘要

提供了一种N型选择性发射极太阳能电池及其制备方法，所述制备方法包括：提供N型硅片衬底，并在其表面形成绒面结构；对N型硅片衬底正面进行硼扩散处理以形成硼扩散层；在N型硅片衬底背面上依次形成层叠的隧穿氧化层和多晶硅层，并对多晶硅层进行磷扩散处理以形成N+掺杂层，在N+掺杂层上形成氮化硅层；腐蚀N型硅片衬底正面非电极区域内的所述硼扩散层，以形成P++/P+选择性发射极结构；在N型硅片衬底正面上依次形成层叠的钝化层和减反射层；在N型硅片衬底的正面和背面分别形成正面电极和背面电极。本发明所提供的N型选择性发射极太阳能电池的制备方法制备工艺简单、成本低廉、能有效提升太阳能电池的效率和性能。