[发明专利]一种超大尺寸电容式触摸屏ITO薄膜制备方法有效
| 申请号： | 202110873195.0 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113593773B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 黄瑜佳;钟伟斌;唐林;杨欢欢 | 申请（专利权）人： | 广西中沛光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00 |
| 代理公司： | 上海政济知识产权代理事务所(普通合伙) 31479 | 代理人： | 黄小灵 |
| 地址： | 546100 广西壮族自治区来宾市*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超大尺寸电容式触摸屏ITO薄膜制备方法，包括以下份数的原材料：二乙基己酸铟30‑50份、四氧化锡20‑40份、有机盐20‑50份、成膜剂2‑8份、稳定剂2‑6份，包括以下步骤：S1：先将二乙基己酸铟、四氧化锡和有机盐各放置在一个容器中并进行加热；S2：然后将二乙基己酸铟、四氧化锡和有机盐产生的气体引流到一个反应室内；S3：在反应室内放置基板，气体在基板上成胶体；S4：然后在胶体上加入成膜剂和稳定剂制成ITO薄膜；S5：将基板上的ITO薄膜取出进行干燥处理；S6：最后对ITO薄膜进行退火处理，本发明通过在现有化学气相沉积法的基础上添加成膜剂和稳定剂，可与有效的提高使用化学气相沉积法生产出ITO薄膜的成膜性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超大 尺寸 电容 触摸屏 ito 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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