[发明专利]一种在钴铬钼合金骨架上沉积钽金属涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种在钴铬钼合金骨架上沉积钽金属涂层的制备方法，包括以下内容：对钴铬钼合金骨架进行表面处理、清洗并干燥；将钴铬钼合金骨架置于沉积室中，并将钽金属粉末放于氧化室中，对沉积室和氧化室抽真空后升温；分别向氧化室和沉积室中通入氯气和氨气，反应生成前驱体五氯化钽气体，由于压强的作用，五氯化钽气体从氧化室流动到沉积室中，与沉积室中的氢气发生还原反应形成钽，钽金属沉积在钴铬钼合金骨架的表面；反应结束后，停止通入氯气，反应过程中产生的尾气通入高浓度氢氧化钠溶液进行尾气处理。解决了现有利用钴铬钼合金制作人工关节在体内引发组织炎症，导致其在人体内的松动率较高的问题。