[发明专利]搬送垫在审

专利信息
申请号: 202110868526.1 申请日: 2021-07-30
公开(公告)号: CN114068383A 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 米谷雅纪 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于靖帅;乔婉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供搬送垫,其能够适当地搬送具有环状框架的工件组,该环状框架局部具有凹凸。搬送垫(2)与搬送机构(1)连结,能够利用吸盘(25)对环状框架(93)的上表面(930)的四个位置进行吸引保持而搬送至卡盘工作台,该搬送垫(2)具有:X轴轨(21),其沿水平面的X轴方向延伸;两条Y轴轨(23),该两条Y轴轨沿在水平面上与X轴方向垂直的Y轴方向延伸并且配置于X轴轨(21),能够在X轴方向上移动;以及吸盘(25),其以能够在Y轴方向上移动的方式分别配置于Y轴轨(23),Y轴轨(23)能够在X轴方向上在任意的位置固定于X轴轨(21),吸盘(25)能够在Y轴方向上在任意的位置固定于Y轴轨(23)。
搜索关键词: 搬送垫
【主权项】:
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