[发明专利]搬送垫

权利要求书

1.一种搬送垫，其与搬送机构连结，能够利用吸盘对工件组的环状框架的上表面的四个位置进行吸引保持而搬送至卡盘工作台，该环状框架具有内径比晶片的直径大的开口，该工件组是在按照将该环状框架的该开口封住的方式粘贴的带上粘贴晶片而得的，其中，

该搬送垫具有：

X轴轨，其沿水平面的X轴方向延伸；

两条Y轴轨，该两条Y轴轨沿在水平面上与X轴方向垂直的Y轴方向延伸，并且该两条Y轴轨配置于该X轴轨，能够在X轴方向上移动；以及

该吸盘，其以能够在Y轴方向上移动的方式分别配置于该Y轴轨，

该Y轴轨能够在X轴方向上在任意的位置固定于该X轴轨，

该吸盘能够在Y轴方向上在任意的位置固定于该Y轴轨。

2.根据权利要求1所述的搬送垫，其中，

所述X轴轨具有：

槽，其沿X轴方向延伸；

螺母，其能够在该槽内固定于任意的位置；以及

凹部，其形成于该螺母，

所述Y轴轨具有：

把持部，其把持该X轴轨并能够在X轴方向上移动；以及

柱塞，其配置于该把持部的与该螺母对置的内侧，与该螺母的该凹部嵌合。

3.根据权利要求1所述的搬送垫，其中，

所述Y轴轨具有：

把持部，其把持所述X轴轨并能够在X轴方向上移动；以及

施力部，其配置于该把持部，按照把持该X轴轨的方式进行施力。

4.根据权利要求1所述的搬送垫，其中，

所述X轴轨具有沿X轴方向延伸的磁性体，

所述Y轴轨具有：

把持部，其把持该X轴轨并能够在X轴方向上移动；以及

磁铁，其配置于该把持部，与该磁性体进行磁吸附。