[发明专利]滤波器及其制备方法、双工器在审
| 申请号： | 202110863077.1 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113541638A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 吴明;王家友;王矿伟;杨清华;唐兆云;赖志国;李合景 | 申请（专利权）人： | 绍兴汉天下微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H9/64;H03H9/02;H03H3/02;H03H3/08;H03H9/70;H03H9/72 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 蔡舒野 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市越城区皋*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种滤波器及其制备方法、双工器，各谐振器层在衬底的一侧沿衬底厚度方向堆叠设置，各谐振器层形成垂直结构而非平铺结构，使得滤波器所占用平面的面积减小，提高滤波器的集成度，进而有利于实现包括本实施例的滤波器的通信系统的小型化。并且，本发明实施例的滤波器仅包括一个晶圆，进而使得滤波器中所需晶圆数量减少，有利于节约成本；且相邻谐振器层直接接触，因此直接在一谐振器层的一侧进行相邻谐振器层的沉积即可，无需采用键合工艺，使得滤波器的制备工艺也较为简化。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 及其 制备 方法 双工器 | ||
【主权项】：
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