[发明专利]一种晶圆自动清洗装置在审
| 申请号： | 202110857060.5 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN113477599A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 贺贤汉;杉原一男;佐藤泰幸;原英樹 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/04;B08B3/14;B25B11/00;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆自动清洗装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括箱体、过滤箱、电机、底座，箱体上设有操作板，操作版下侧设有插入孔，箱体一侧固定设有过滤箱，电机输出轴固定连接有均匀排列的连接杆，连接杆上通过关节连接有摆动柱，输出轴顶端固定设有与连接杆相匹配的固定架，过滤箱通过水泵连接有水管，水管上设有水阀，水管另一端固定设有加粗管，加粗管另一端固定连接有喷淋头，加粗管内设有旋转柱，且旋转柱上均匀的设有螺旋桨，旋转柱固定连接有毛刷盘，毛刷盘上设有毛刷。本发明结构简单，便于操作，能够对晶圆自动清洗，在清洗的过程中防止吸盘对清洗后的晶圆污染，且清洗全面，能够在清洗的时候对晶圆进行刷洗，适合推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海申和热磁电子有限公司，未经上海申和热磁电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110857060.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
