[发明专利]一种晶圆自动清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆自动清洗装置，包括箱体(1)、过滤箱(4)、电机(8)、底座(11)，其特征在于，所述箱体(1)上设有操作板(2)，所述操作版(2)下侧设有插入孔(3)，所述箱体(1)一侧固定设有过滤箱(4)，所述箱体(1)内下表面固定设有底板(5)，所述底板(5)四角固定设有支撑架(6)，所述支撑架(6)上固定设有稳定架(7)，所述稳定架(7)中心处固定设有电机(8)，所述支撑架(6)顶端固定设有支撑板(9)，所述支撑板(9)上固定设有挡环(10)，所述挡环(10)内设有固定在支撑板(9)上的底座(11)，所述底座(11)两侧设有流水槽(33)，所述底座(11)上表面固定设有环形轨道(12)，所述环形轨道(12)上设有凹槽(13)，所述底座(11)位于流水槽(33)内固定设有下电控吸盘(21)，所述电机(8)的输出轴(14)贯穿支撑板(9)与底座(11)延伸至底座(11)的上方，所述输出轴(14)固定连接有均匀排列的连接杆(15)，所述连接杆(15)上通过关节(16)连接有摆动柱(32)，所述输出轴(14)顶端固定设有与连接杆(15)相匹配的固定架(17)，所述摆动柱(32)上方固定设有稳定座(35)，所述稳定座(35)上固定设有压缩弹簧(36)，所述压缩弹簧(36)另一端与固定架(17)固定相连；

所述过滤箱(4)通过水泵连接有水管(18)，所述水管(18)上设有水阀(19)，所述水管(18)另一端固定设有加粗管(24)，所述加粗管(24)另一端固定连接有喷淋头(20)，所述加粗管(24)内设有旋转柱(25)，且旋转柱(25)上均匀的设有螺旋桨(28)，所述喷淋头(20)中心处贯穿设有凸块(27)，所述凸块(27)内贯穿设有稳定块(26)，所述稳定块(26)与旋转柱(25)固定相连，所述旋转柱(25)另一端固定连接有毛刷盘(34)，所述毛刷盘(34)上均匀的设有毛刷(31)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗装置，其特征在于，所述摆动柱(32)远离输出轴的一端固定设有上电控吸盘(34)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗装置，其特征在于，所述插入孔(3)内可拆卸设有插入槽(22)，所述插入槽(22)内固定设有位置与上电控吸盘(34)相匹配的供应槽(23)，所述供应槽(23)内设置有弹簧盘，弹簧盘上放置有待清洗的晶圆。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗装置，其特征在于，水管(18)有两条，一条水管(18)的喷淋头(20)位于下电控吸盘(21)的上方，另一条水管(18)的喷淋头(20)位于上电控吸盘(34)的下方，所述喷淋头(20)位于凸块(27)的周围均匀的设有喷孔(30)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗装置，其特征在于，所述毛刷(31)由耐腐蚀的柔性材料构成，所述毛刷(31)延伸至下电控吸盘(21)与上电控吸盘(34)的吸盘处。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗装置，其特征在于，所述流水槽(33)的底部设有排水孔，排水孔连接的管道与过滤箱(4)相连。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆自动清洗装置，其特征在于，所述关节(16)内设有上下摆动的滑动，所述环形轨道(12)上滑动设有滑块(37)，所述滑块(37)上方与摆动柱(32)固定相连。