[发明专利]一种大靶面探测器半导体真空深度制冷全桥控制电路有效
申请号: | 202110848342.9 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN113568449B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 刘洋;李洪文;王建立;陈涛;刘昌华;曹景太;张恒 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20 |
代理公司: | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种大靶面探测器半导体真空深度制冷全桥控制电路,属于半导体温控电路技术领域,包括微处理器、桥驱动电路、H桥电路、LCR滤波电路、桥臂电流检测电路、桥臂电压检测电路、冷端温度传感器、冷端温度检测电路、热端温度传感器、热端温度检测电路、风扇以及风扇驱动调速电路,其中桥臂电流检测电路包括精密电流检测电阻和电流检测放大器;微处理器设有ADC接口、SPI接口和外部通信接口,实现外部信号的读取、风扇风速的调节以及与上位机的通信。本发明可实现大靶面探测器大制冷功率、大温差控制,制冷效率高,制冷温度最低可到达‑50℃。 | ||
搜索关键词: | 一种 大靶面 探测器 半导体 真空 深度 制冷 控制电路 | ||
【主权项】:
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