[发明专利]一种制备异质结太阳电池电极的方法和装置

摘要

本申请涉及一种制备异质结太阳电池电极的方法和装置，包括使用磁吸附掩膜工装，通过真空镀膜设备在异质结太阳电池的ITO薄膜上先制备一层镍铬合金种子层栅线，再在镍铬合金种子层栅线上制备铜的金属种子层栅线，然后在金属种子层栅线上制备锡合金栅线。该方法使用锡合金完全代替银浆，从原材料上降低了异质结太阳电池的制造成本，并且使用掩膜工装，通过真空镀膜设备制备种子层栅线，代替干膜光刻掩膜工艺，简化了制备种子层栅线的工艺步骤，进一步的降低了制造成本，通过在金属种子层与ITO薄膜之间增加一层合金种子层，提高了金属种子层与ITO薄膜之间的附着力，确保了后续制备的锡合金栅线与ITO薄膜的良好附着。