[发明专利]一种铟靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202110818282.6 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113652652B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 梁振耀;黄宇彬;阿南.辛格.迪欧达特;余飞;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22C9/22;C22F1/16 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铟靶材及其制备方法。所述方法包括如下步骤：S1：将背板安装在模具中，然后预热模具；S2：在背板表面涂布铟靶材熔液，然后将铟靶材熔液浇铸入模具；S3：将装有铟靶材熔液的模具自中部向两端分区域冷却，得到凝固的靶材；S4：将凝固的靶材放入水中淬火，得到所述铟靶材。本发明采取分区域冷却和淬火结合的方式，一方面，本发明将铟靶材熔液自中间区域向两端冷却，保证在冷却的过程中将锁孔往两端排挤，确保靶材内部无缩孔影响靶材的质量。另一方面，提高了靶材的晶粒尺寸的均匀性，保证靶材溅射沉积厚度的均匀性。采用本发明所述靶材的制备方法制备的靶材纯度高，晶粒尺寸分布均匀，且靶材内部无缩孔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铟靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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