[发明专利]一种铟靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铟靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：将背板安装在模具中，然后预热模具；

S2：在背板表面涂布铟靶材熔液，然后将铟靶材熔液浇铸入模具；

S3：将装有铟靶材熔液的模具自中部向两端分区域冷却，得到凝固的靶材；

S4：将凝固的靶材放入水中淬火，得到所述铟靶材；

所述分区域冷却具体为：将模具沿着长边分为n个区域，5≤n≤15，n为自然数；当n为单数时，其余区域温度保持不变，将第(n+1)/2的区域温度降至120℃，待铟靶材熔液完全凝固后；其余区域温度保持不变，将第(n-1)/2和第(n+3)/2区域温度降至120℃，待铟靶材熔液完全凝固后；以此推类至整个模具中铟靶材熔液凝固为凝固的靶材；当n为双数时，其余区域温度保持不变，将第n/2和(n+2)/2的区域温度降至120℃，其余区域温度保持不变，待铟靶材熔液完全凝固后；其余区域温度保持不变，将第(n-2)/2和第(n+4)/2区域温度降至120℃，待铟靶材熔液完全凝固后；以此推至整个模具中铟靶材熔液凝固为凝固的靶材；

所述S4中，水的温度为20-22℃；

所述S2中，使用铟靶材熔液将背板表面涂布的铟靶材熔液冲洗干净，然后将铟靶材熔液浇铸入模具。

2.如权利要求1所述铟靶材的制备方法，其特征在于，所述S1中，预热温度为180-240℃。

3.如权利要求1所述铟靶材的制备方法，其特征在于，所述S1中，将铟靶材在250-300℃下熔融为铟靶材熔液。

4.如权利要求1所述铟靶材的制备方法，其特征在于，所述S2中，当背板表面温度为160℃以上，在背板表面涂布铟靶材熔液。

5.如权利要求4所述铟靶材的制备方法，其特征在于，所述涂布具体为：以5-10mm/s的速率，在背板表面以直线运动方式从左往右、从右往左、从上往下或者从下往上的方式超声涂布铟靶材熔液。

6.如权利要求1所述铟靶材的制备方法，其特征在于，所述S3中，将铟靶材熔液浇铸入模具后，使用筛网摩擦铟靶材熔液。

7.采用权利要求1～6任一项所述铟靶材的制备方法制备的铟靶材。