[发明专利]显示面板及其制备方法、显示装置在审
申请号: | 202110798294.7 | 申请日: | 2021-07-15 |
公开(公告)号: | CN113571559A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 张乐陶;梁鹏飞;黄泰钧 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 邓敬威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种显示面板及其制备方法、显示装置,该制备方法包括以下步骤:在基板上制备像素定义膜,采用一道图案化工艺在像素定义膜上形成台阶状开口;其中,开口包括第一开口位于第一开口远离基板的一侧的第二开口,第二开口和第一开口的连接处形成台阶面;在开口内形成有机光阻;对开口外的像素定义膜进行氟化等离子处理,以使开口外的像素定义膜形成表层具有亲水性的第一像素定义层,其余像素定义膜形成具有疏水性的第二像素定义层;以及去除开口内的有机光阻。本发明实施例通过一次光刻工艺和氟化等离子处理工艺,形成了具有亲水性表面的第一像素定义层和疏水性表面的第二像素定义层,简化了制备工艺,减少了光刻次数。 | ||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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