[发明专利]一种石英件保护层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种石英件保护层，所述保护层位于石英件表面，所述保护层的热膨胀系数大小介于石英与镀膜层热膨胀系数之间。本发明还公开了一种石英件保护层的制备方法，所述方法为LPCVD方法沉积保护层或/和喷涂烧结的方法沉积保护层；或者所述方法为采用LPCVD方法直接生长SiO2，再逐渐减少供氧物质的含量比例，提高镀膜层物质的比例，直至最后全是镀膜层物质。本发明中，石英件保护层(即过渡层)能够隔离镀膜层与石英件的直接接触；由于过渡层的存在，相互之间的热应力都能降低，极大的延长了石英件的寿命，降低了维护成本和工作量；减少了设备维护工作和时间，提高了设备使用率。