[发明专利]一种阴极制备自动装置监控系统在审
| 申请号： | 202110789782.1 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113282054A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;周庆宏;许军;邓海顺;马天兵 | 申请（专利权）人： | 安徽理工大学 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 232001 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明专利为一种阴极制备自动装置监控系统，监控系统的控制电动旁路阀、电动高真空阀、电动前级阀、电动离子泵阀、电动钛升华泵阀、机械泵、分子泵、离子泵、钛升华泵、加温、升降机构升、升降机构降的继电器线圈接PLC的输出端；数字式温度传感器、数字式位移传感器、数字式真空度传感器与模数转换模块连接，模数转换模块与PLC连接。通过监控系统实现对阴极制备自动装置进行监控，可对阴极制备自动装置进行自动或手动控制。具有完善的监控和保护功能，其操作简便、功能齐全、性能可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 制备 自动装置 监控 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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