[发明专利]一种阴极制备自动装置监控系统

权利要求书

1.一种阴极制备自动装置监控系统，由工控机和PLC组成，监控系统的控制器为PLC，工控机的通讯端口与PLC的通讯端口相连，其特征是：

监控系统控制柜上的自动开、自动关、电动旁路阀开、电动旁路阀关、电动高真空阀开、电动高真空阀关、电动前级阀开、电动前级阀关、电动离子泵阀开、电动离子泵阀关、电动钛升华泵阀开、电动钛升华泵阀关、电动排气阀开、电动排气阀关、机械泵开、机械泵关、分子泵开、分子泵关、离子泵开、离子泵关、钛升华泵开、钛升华泵关、加温开、加温关、升降机构升和升降机构降的按钮接PLC的输入端；

监控系统的控制电动旁路阀、电动高真空阀、电动前级阀、电动离子泵阀、电动钛升华泵阀、机械泵、分子泵、离子泵、钛升华泵、加温、升降机构升、升降机构降的继电器线圈接PLC的输出端；

数字式温度传感器、数字式位移传感器、数字式真空度传感器与模数转换模块连接，模数转换模块与PLC连接。