[发明专利]一种阴极制备自动装置监控系统

说明书

本发明专利为一种阴极制备自动装置监控系统，监控系统的控制电动旁路阀、电动高真空阀、电动前级阀、电动离子泵阀、电动钛升华泵阀、机械泵、分子泵、离子泵、钛升华泵、加温、升降机构升、升降机构降的继电器线圈接PLC的输出端；数字式温度传感器、数字式位移传感器、数字式真空度传感器与模数转换模块连接，模数转换模块与PLC连接。通过监控系统实现对阴极制备自动装置进行监控，可对阴极制备自动装置进行自动或手动控制。具有完善的监控和保护功能，其操作简便、功能齐全、性能可靠。

技术领域

本专利涉及阴极制备，尤其涉及一种阴极制备自动装置监控系统。

背景技术

本阴极制备自动装置是包括阴极和阳极一个形成真空的罐体，罐中的温度可通过加热器件进行设置。

作为一种自动装置，自动装置的监控系统尤其重要。自动装置的监控系统需要正确地监控出各个设备机械泵、分子泵、离子泵、钛升华泵、电动前级阀、电动高真空阀、电动旁路阀、电动放气阀、电动离子泵阀、电动钛升华泵阀、阴极、阳极、阴极升降机构运行的状况和相关参数位移、真空度、温度的数值。自动装置所使用的监控系统应该能够直观明了，操作方便，功能齐全，如何能够很好地实现上述功能，是当前急需解决的问题。

发明内容

为了实现对阴极制备的整个过程进行自动化控制和严密的监视，本发明专利充分利用工控机的特点，提供一种阴极制备自动装置监控系统，实现对阴极制备的整个过程进行操作、监控的目的。

本发明一种阴极制备自动装置监控系统采用的技术方案是：监控系统由工控机和PLC组成，监控系统的控制器为PLC，工控机的通讯端口与PLC的通讯端口相连。

监控系统控制柜上的自动开、自动关、电动旁路阀开、电动旁路阀关、电动高真空阀开、电动高真空阀关、电动前级阀开、电动前级阀关、电动离子泵阀开、电动离子泵阀关、电动钛升华泵阀开、电动钛升华泵阀关、电动排气阀开、电动排气阀关、机械泵开、机械泵关、分子泵开、分子泵关、离子泵开、离子泵关、钛升华泵开、钛升华泵关、加温开、加温关、升降机构升和升降机构降的按钮接PLC的输入端；

监控系统上有自动装置上自动工作方式的自动开、关和手动工作方式的电动旁路阀开、电动旁路阀关、电动高真空阀开、电动高真空阀关、电动前级阀开、电动前级阀关、电动离子泵阀开、电动离子泵阀关、电动钛升华泵阀开、电动钛升华泵阀关、电动排气阀开、电动排气阀关、机械泵开、机械泵关、分子泵开、分子泵关、离子泵开、离子泵关、钛升华泵开、钛升华泵关、加温开、加温关、升降机构升和升降机构降的按钮，分别实现自动和手动工作方式。

监控系统的控制电动旁路阀、电动高真空阀、电动前级阀、电动离子泵阀、电动钛升华泵阀、机械泵、分子泵、离子泵、钛升华泵、加温、升降机构升、升降机构降的继电器线圈接PLC的输出端；

通过PLC控制各个阀和各个泵，进而控制电动旁路阀、电动高真空阀、电动前级阀、电动离子泵阀、电动钛升华泵阀、机械泵、分子泵、离子泵、钛升华泵和加温系统的打开和关闭，以及升降机构升和升降机构降的运动。

数字式温度传感器、数字式位移传感器、数字式真空度传感器与模数转换模块连接，模数转换模块与PLC连接。

通过数字式温度传感器、数字式位移传感器、数字式真空度传感器采集温度、位移、真空度的数据，经模数转换模块输入到PLC中，再经PLC的分析和判断，决定自动控制的工作进程。

本发明的有益效果是：一种阴极制备自动装置监控系统，通过监控系统实现对阴极制备进行自动加工和手动加工的监控，实现自动装置的各个泵、各个阀和阴极升降机构的运行控制，实时观察加工温度、加工间距、真空度的数值。具有对阴极制备装置完善的监控和保护功能，其操作简便、功能齐全、性能可靠。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是一种阴极制备自动装置监控系统的工控机与PLC连接图。