[发明专利]一种谐振器的调频方法在审
| 申请号： | 202110789696.0 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113489468A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 李立伟;杨云春;陆原;马琳 | 申请（专利权）人： | 赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;G06F30/367 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 杨海霞 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种谐振器的调频方法，包括：对目标晶圆上的谐振器组中的谐振器进行谐振频率测试，得到测试结果；根据测试结果，从谐振器组中确定待调整谐振器以及待调整谐振器的调整类型；对待调整谐振器进行模拟仿真，确定待调整谐振器的待调频区域；根据待调整谐振器的调整类型，对待调频区域进行沉积操作或刻蚀操作，沉积操作用于增加待调频区域的厚度，降低待调频区域的谐振频率，刻蚀操作用于降低待调频区域的厚度，提高待调频区域的谐振频率。本申请对未达标的谐振器进行优化，实现精准地调频，提高达标率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振器 调频 方法 | ||
【主权项】：
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