[发明专利]一种异质结红外光电传感器及其制备方法在审
申请号: | 202110779666.1 | 申请日: | 2021-07-09 |
公开(公告)号: | CN113675292A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 张洪宾;陆佳俊;佀国翔;吕绍艳;程瑞杉;徐彦彩;李娇;孙硕齐 | 申请(专利权)人: | 山东师范大学 |
主分类号: | H01L31/109 | 分类号: | H01L31/109;H01L31/0336;H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 朱忠范 |
地址: | 250014 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本公开提供了一种异质结红外光电传感器及其制备方法,采用基于Cu/SnSe/Ge/In‑Ga的异质结的光电传感器;将SnSe/Ge的异质结作为光吸收活性层,在SnSe/Ge的异质结的界面处形成电场;将Cu的微栅格结构作为顶电极,与SnSe的晶体薄膜形成欧姆接触;将In‑Ga合金或In的晶体薄膜作为底电极,与Ge的晶体基片形成欧姆接触。在红外光的照射下实现红外光学信号到电学信号的转换,实现对红外光的快速识别,同时,能够感知微弱的光信号,解决目前红外传感器件普遍存在的较小光电流和较大暗电流的难题,进而提高了红外传感器识别的灵敏度和探测度。 | ||
搜索关键词: | 一种 异质结 红外光 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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