[发明专利]一种异质结红外光电传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110779666.1 申请日: 2021-07-09
公开(公告)号: CN113675292A 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 张洪宾;陆佳俊;佀国翔;吕绍艳;程瑞杉;徐彦彩;李娇;孙硕齐 申请(专利权)人: 山东师范大学
主分类号: H01L31/109 分类号: H01L31/109;H01L31/0336;H01L31/0224;H01L31/18
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 朱忠范
地址: 250014 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本公开提供了一种异质结红外光电传感器及其制备方法,采用基于Cu/SnSe/Ge/In‑Ga的异质结的光电传感器;将SnSe/Ge的异质结作为光吸收活性层,在SnSe/Ge的异质结的界面处形成电场;将Cu的微栅格结构作为顶电极,与SnSe的晶体薄膜形成欧姆接触;将In‑Ga合金或In的晶体薄膜作为底电极,与Ge的晶体基片形成欧姆接触。在红外光的照射下实现红外光学信号到电学信号的转换,实现对红外光的快速识别,同时,能够感知微弱的光信号,解决目前红外传感器件普遍存在的较小光电流和较大暗电流的难题,进而提高了红外传感器识别的灵敏度和探测度。
搜索关键词: 一种 异质结 红外光 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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