[发明专利]一种太阳能电池片及其背面PECVD法和应用在审

专利信息
申请号: 202110760598.4 申请日: 2021-07-06
公开(公告)号: CN113481487A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 宋飞飞;王英杰;任勇;何悦 申请(专利权)人: 横店集团东磁股份有限公司
主分类号: C23C16/50 分类号: C23C16/50;C23C16/02;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;H01L31/0216;H01L31/06;H01L31/18
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 王艳斋
地址: 322118 浙*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了一种太阳能电池片及其背面PECVD法和应用。所述背面PECVD法包括以下步骤:(1)吹扫循环:插有硅片的石墨舟进舟前,对炉管循环进行氮气冲洗和一次抽真空操作;(2)预处理:通入N2O;(3)镀膜处理:依次沉积背钝化膜、氮化硅膜和氧化硅膜,得到经过背面PECVD处理的硅片;(4)氮气清洗:取出插有硅片的石墨舟,用氮气清洗炉管。本发明在石墨舟进舟前,提前利用氮气吹扫清洗和真空沉降的循环的方式减少PECVD炉管内的颗粒数量,之后再进石墨舟,同时在炉管运行过程中保持相对低的气流量和低气压,避免了反应物过量,最终有效地降低了太阳能电池片的EL黑点污染。
搜索关键词: 一种 太阳能电池 及其 背面 pecvd 应用
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于横店集团东磁股份有限公司,未经横店集团东磁股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110760598.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top