[发明专利]非接触式转动角位移测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202110744795.7 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113465550B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 谈宜东;徐欣;代宗仁;王一帆 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王倩 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种非接触式转动角位移测量装置及测量方法，激光光束经过测量组件，即形成第一频率激光光束和第二频率激光光束，并在待测圆台一交点上散射形成第一测量回馈光束和第二测量回馈光束，随后回到激光发射装置并与激光发射装置内的原光场发生干涉效应，调制激光器的输出功率得到调制光束。探测器接收调制光束，并将调制光束由光信号转换为电信号。处理装置根据电信号计算待测圆台的角位移。通过激光的回馈调制现象进行测量，具有高精度、高分辨率，因此解决了容栅式角位移传感器在使用过程中出现安装误差的问题。此外，探测器通过实时检测调制光束中的光强和相位的变化，就可以动态测量一个待测圆台的角位移。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 转动 位移 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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