[发明专利]薄膜传感器及其封装方法在审

专利信息
申请号: 202110741645.0 申请日: 2021-07-01
公开(公告)号: CN113651287A 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 万蔡辛;俞江彬 申请(专利权)人: 上海韦尔半导体股份有限公司
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02
代理公司: 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 代理人: 蔡纯;张靖琳
地址: 201203 上海市浦东新区中国(上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种薄膜传感器及其封装方法,薄膜传感器的封装方法包括:形成包覆传感器结构的疏水膜;其中,所述传感器结构包括:基板以及位于所述基板之上的芯片;在所述基板的选定位置涂覆焊锡;贴装壳体,并进行回流焊,所述壳体包括连通孔;以及通过所述连通孔向所述基板与所述壳体之间的空腔填充凝胶。本发明提供的薄膜传感器及其封装方法,能够有效提高薄膜传感器的防潮、防尘能力。
搜索关键词: 薄膜 传感器 及其 封装 方法
【主权项】:
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