[发明专利]一种高分辨率慢正电子束形貌的测量方法及装置在审
| 申请号： | 202110732713.7 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113447976A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 况鹏;胡誉;刘福雁;曹兴忠;于润升;王宝义;张鹏;魏龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 庞许倩 |
| 地址： | 100049 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高分辨率慢正电子束形貌的测量方法及装置，属于束流测量技术领域，解决了现有技术中慢正电子束流的诊断精度受探测器分辨率的限制，诊断精度低的问题。该方法包括：根据慢正电子束的目标形貌图像的像素数及稀疏度确定束流掩膜板的数量，并确定每一束流掩膜板对应的稀疏二进制随机矩阵；将慢正电子束流分别照射每一束流掩膜板对应获得多个伽马光子数值；基于每一束流掩膜板的稀疏二进制随机矩阵以及对应的伽马光子数值进行图像重建获得慢正电子束的形貌图像。该方法通过提高束流掩膜板的分辨率从而提高慢正电子束流的形貌图像分辨率，很大程度上提高了诊断精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高分辨率 电子束 形貌 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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