[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示面板有效
| 申请号： | 202110731961.X | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113488543B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 张合静;郑浩旋 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12;H01L29/66;G02F1/1362;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 曹小翠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请适用于器件工艺技术领域，提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板，通过在沉积第二金属层之前，在有源层中沟道区上设置有机材料层，由有机材料层对沟道区上的刻蚀液进行阻挡，可以避免对第二金属层进行刻蚀的刻蚀液对沟道区造成损伤，提升背沟道刻蚀型薄膜晶体管的性能，解决了目前背沟道刻蚀型薄膜晶体管的制备工艺中，存在薄膜晶体管的背沟道被刻蚀液损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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