[发明专利]一种芯片工艺角的确定方法及其确定装置、监控方法有效
| 申请号： | 202110722825.4 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113378501B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 钟晓炜;郑国忠 | 申请（专利权）人： | 厦门紫光展锐科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/333 | 分类号： | G06F30/333;G06F115/12 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 361015 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种芯片工艺角的确定方法及其确定装置、监控方法。该确定方法包括：获取每条环形振荡器在不同PVT条件下的Rosc仿真值；获取每条环形振荡器的Rosc实测值；根据Rosc实测值和Rosc仿真值，确定每种临界电压单元对应的参考环形振荡器，其中，在由相同种临界电压单元组成的环形振荡器中，参考环形振荡器的Rosc仿真值和Rosc实测值的相关性最好；获取不同PVT条件下的关键路径、以及每条关键路径中不同种临界电压单元的时延占比；根据时延占比和参考环形振荡器，获得每种PVT条件对应的Rosc仿真参考值；根据Rosc仿真参考值，确定每种PVT条件下芯片的工艺角。以提高所得到的Rosc仿真参考值的相关性，提高监控及评估制程的相关性，优化核签标准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 工艺 确定 方法 及其 装置 监控 | ||
【主权项】：
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