[发明专利]一种具有组合柱状结构的红外探测器有效
| 申请号： | 202110711255.9 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113432726B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 翟光杰;潘辉;武佩;翟光强 | 申请（专利权）人： | 北京北方高业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/24 | 分类号： | G01J5/24 |
| 代理公司： | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人： | 安伟 |
| 地址： | 100070 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种具有组合柱状结构的红外探测器，红外探测器中，CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构均使用CMOS工艺制备，第一柱状结构位于反射层与梁结构之间，第二柱状结构位于吸收板与梁结构之间，吸收板和梁结构均包括电极层和至少两层介质层，第一柱状结构为实心柱状结构，第二柱状结构为空心柱状结构，第二柱状结构至少包括电极层；或者第一柱状结构为空心柱状结构，第二柱状结构为实心柱状结构，第一柱状结构至少包括电极层。通过本公开的技术方案，解决了传统MEMS工艺红外探测器的性能低，像素规模低，良率低以及一致性差的问题，有利于减小空心柱状结构的热导以及提高红外探测器的结构稳定性，增加吸收板面积，提升红外探测器的红外探测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 组合 柱状 结构 红外探测器 | ||
【主权项】：
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