[发明专利]用于确定MEMS装置的镜体的扭转角的方法在审
| 申请号： | 202110698212.1 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN114063279A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | F·M·达勒 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及用于确定MEMS装置的镜体的扭转角的方法。一种方法包括向MEMS装置的静电梳状驱动器施加驱动电压，并将周期性电压信号与驱动电压叠加。该方法还包括基于周期性电压信号确定MEMS装置的镜体的扭转角。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 mems 装置 扭转 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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