[发明专利]用于确定MEMS装置的镜体的扭转角的方法

说明书

本公开的实施例涉及用于确定MEMS装置的镜体的扭转角的方法。一种方法包括向MEMS装置的静电梳状驱动器施加驱动电压，并将周期性电压信号与驱动电压叠加。该方法还包括基于周期性电压信号确定MEMS装置的镜体的扭转角。

技术领域

本公开涉及用于确定MEMS装置的镜体的扭转角的方法。本公开还涉及可以通过这样的方法操作的MEMS装置。

背景技术

MEMS(微机电系统)装置可以是例如LIDAR(光检测和测距)扫描装置，例如其例如可以应用在全自动或部分自动的自行驶汽车中。在这样的装置中，可以使用具有可控扭转角的镜体，以便能够沿不同方向反射光。镜体的扭转角可以取决于施加到静电梳状驱动器上的电压。对于MEMS装置的适宜操作，应确保镜体实际上被偏转了通过电压设置的扭转角。MEMS装置制造商一直在努力改善其产品。特别地，可能期望提供用于确定MEMS装置的镜体的扭转角的改进方法。

发明内容

各个方面涉及一种方法。该方法包括向MEMS装置的静电梳状驱动器施加驱动电压。该方法还包括将周期性电压信号与驱动电压叠加。该方法还包括基于周期性电压信号，确定MEMS装置的镜体的扭转角。

各个方面涉及一种MEMS装置。MEMS装置包括镜体和一个或多个静电梳状驱动器，所述静电梳状驱动器用于基于一个或多个驱动电压来旋转镜体。MEMS装置还包括用于将一个或多个周期性电压信号与一个或多个驱动电压叠加的单元。MEMS装置还包括用于基于一个或多个周期性电压信号来确定镜体的扭转角的单元。

附图说明

下面参考附图更详细地解释根据本公开的方法和装置。附图中所示的元件不必相对于彼此按比例绘制。相同的附图标记可以指定相同的组件。

图1示出了根据本公开的MEMS装置100的示意性俯视图。

图2示出了根据本公开的MEMS装置200的示意性截面侧视图。

图3示出了根据本公开的MEMS装置300的示意性透视图。

图4示意性地示出了根据本公开的MEMS装置400。

图5示意性地示出了根据本公开的MEMS装置500。

图6示出了根据本公开的MEMS装置的镜体的取决于扭转角的电压曲线和电容曲线。

图7示出了根据本发明的方法的流程图。

图8示意性地示出了根据本公开的MEMS装置800。

图9示出了根据本公开的MEMS装置900的示意性俯视图。

图10示意性地示出了根据本公开的MEMS装置1000。

具体实施方式

下面描述的附图示出了MEMS装置以及用于操作这种MEMS装置的方法。可以以一般方式呈现所描述的装置和方法，以便定性地描述本公开的各方面。为了简单起见，所描述的装置和方法可以具有在相应附图中未示出的其他方面。然而，可以将各个示例扩展为包括结合根据本公开的其他示例所描述的方面。因此，对特定附图的陈述可以等同地应用于其他附图的示例。

图1的MEMS装置100可以具有镜体(或扫描器主体)2、(特别是刚性的)框架4和悬架结构6。镜体2可以设计成绕枢轴或旋转轴A旋转。两个相对的悬架结构6可以将镜体2与框架4机械连接。例如，每个悬架结构6均可以具有扭杆形式的弹簧元件，尽管悬架结构6不限于这种特定的示例性实施例。悬挂结构6或弹簧元件可以基本平行于镜体2的枢轴A延伸或限定。