[发明专利]用于确定MEMS装置的镜体的扭转角的方法在审
| 申请号： | 202110698212.1 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN114063279A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | F·M·达勒 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 确定 mems 装置 扭转 方法 | ||
1.一种方法，包括：
向MEMS装置的静电的梳状驱动器(8)施加驱动电压(HVL，HVR)；
将所述驱动电压(HVL，HVR)与周期性电压信号(FuSaL，FuSaR)叠加；以及
基于所述周期性电压信号(FuSaL，FuSaR)，确定所述MEMS装置的镜体(2)的扭转角(Φ)。
2.根据权利要求1所述的方法，其中向静电的所述梳状驱动器(8)施加所述驱动电压(HVL，HVR)包括：
向所述梳状驱动器(8)的第一定子(16A)施加第一驱动电压(HVL)；以及
向所述梳状驱动器(8)的第二定子(16B)施加第二驱动电压(HVR)。
3.根据权利要求2所述的方法，其中将所述驱动电压(HVL，HVR)与周期性电压信号(FuSaL，FuSaR)叠加包括：
将所述第一驱动电压(HVL)与第一周期性电压信号(FuSaL)叠加；以及
将所述第二驱动电压(HVR)与第二周期性电压信号(FuSaR)叠加。
4.根据权利要求3所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(FuSaL)和所述第二周期性电压信号(FuSaR)基本上是相位相反的。
5.根据权利要求3或4所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(FuSaL)和所述第二周期性电压信号(FuSaR)的频率分别高于所述MEMS装置的谐振频率。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(FuSaL)和所述第二周期性电压信号(FuSaR)的频率分别在1MHz至100MHz的范围内。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(FuSaL)和所述第二周期性电压信号(FuSaR)的幅度分别在0.1V至lV的范围内。
8.根据权利要求3至7中任一项所述的方法，还包括：
确定所述梳状驱动器(8)的转子(10)处的测量信号，所述测量信号基于所述第一周期性电压信号(FuSaL)和所述第二周期性电压信号(FuSaR)。
9.根据权利要求8所述的方法，其中确定所述扭转角(Φ)包括：
基于在所述梳状驱动器(8)的所述转子(10)处的测量信号与扭转角(Φ)之间的存储映射，将所述测量信号映射到所述扭转角(Φ)。
10.根据权利要求9所述的方法，还包括：
在所述MEMS装置的校准期间，生成所述存储映射。
11.根据权利要求8至10中任一项所述的方法，其中所述测量信号基于商其中：
FuSaL是所述第一周期性电压信号，并且
FuSaR是所述第二周期性电压信号。
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