[发明专利]掩模板、成型方法以及形成OLED阴极图案的方法在审
| 申请号： | 202110694786.1 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113416925A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 邢汝博 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种掩模板、成型方法以及形成OLED阴极图案的方法，掩模板包括：掩模板本体，包括图案蒸镀区，图案蒸镀区内设置有多个蒸镀开孔，掩模板本体具有形成图案蒸镀区以及蒸镀开孔的壁面；钝化层，掩模板本体的至少部分壁面上覆盖有钝化层。本发明实施例提供的掩模板，掩模板能够降低或者避免清洗液的腐蚀，能够被多次重复利用，使用寿命高。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 成型 方法 以及 形成 oled 阴极 图案 | ||
【主权项】：
暂无信息
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