[发明专利]具有有源阻尼器的微机电膜换能器在审
申请号: | 202110691050.9 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN113839582A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | D·朱斯蒂;F·夸利亚 | 申请(专利权)人: | 意法半导体股份有限公司 |
主分类号: | H02N2/00 | 分类号: | H02N2/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 董莘 |
地址: | 意大利阿格*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了具有有源阻尼器的微机电膜换能器。微机电膜换能器包括:支撑结构;腔,在支撑结构中;膜,耦合到支撑结构以便在一侧覆盖腔;悬臂阻尼器,围绕膜的周边被固定到支撑结构,并且在距膜一定距离处朝向膜的内部而延伸;以及阻尼器压电致动器,被布置在悬臂阻尼器上并且被配置以便响应于电致动信号而将悬臂阻尼器朝向膜弯曲。 | ||
搜索关键词: | 具有 有源 阻尼 微机 电膜换能器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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