[发明专利]镀膜设备及其工作方法

摘要

本申请公开了一种镀膜设备及其工作方法，所述镀膜设备包括多个反应腔，且所述多个反应腔通过同一个调压阀与同一个工艺泵连接；所述工作方法包括：在利用所述多个反应腔进行镀膜过程中，控制所述调压阀导通以及所述工艺泵运行以使得所述多个反应腔内的压力保持为第一预定压力；响应于所述调压阀波动且所述多个反应腔内的镀膜过程开始前或停止后，使所述多个反应腔内的压力升高至第二预定压力后，控制所述调压阀导通以及所述工艺泵运行以使得所述多个反应腔内的压力下降至第三预定压力；其中，所述第二预定压力大于所述第一预定压力以及所述第三预定压力。本申请能够充分利用资源，提高调压阀和工艺泵的使用率，降低成本。